1、风冷：罗茨真空泵由于输送和压缩气体而产生热量，需要从转子传输到壳体。但是，在低压下，气体的导热和对流性能非常差，因此转子吸收的热量不容易散失，导致转子温度始终高于壳体温度。由于转子的热膨胀，转子和转子之间以及转子和泵壳之间的间隙减小，特别是当压差也很高时，这甚至会导致转子堵塞和损坏泵。

2、转子内部冷却：为了使罗茨真空泵在更高的压差下工作，可采用更有效的冷却方式，即用循环油冷却转子，将油孔和油径分别打入泵轴两端的轴头中，然后通过转子内壁从另一端排出。除了冷却转子外，冷却油还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果很好。泵运行时，转子温度低于壳体温度。这种方法通常用于大型泵。例如，在80托压差下工作时，罗茨真空泵的转子温度比壳体低78度。同时，还发现泵负载越重，间隙越大。这是因为转子是用油冷却的，温度比壳体的温度低。载荷越大，壳体膨胀越严重，轴间距越大，因此间隙将增加。

3、转子油膜冷却：这种冷却方式是在罗茨真空泵进口连接一条油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过过滤器和冷却器，经过密封良好的油泵，然后通过输油管将油输送到泵的进口。油滴到转子上后，随着转子的旋转，油滴都在转子表面。这不仅带走了转子的热量，而且在两个转子表面上形成了一层油膜，以防止气体反向流动，还带走了附着在转子表面的细粉尘。在泵的出口设置一个油箱，用于收集废油、过滤、冷却和再利用。这种方法是有效的。但是，由于泵内有油，罗茨泵的无油蒸汽污染真空系统的特性丧失。此外，油具有一定的粘度，这会给高速旋转的罗茨泵转子增加大量摩擦，这当然会增加泵的功耗。对于使用的油，应尽可能更换饱和蒸汽压力。

4、水冷：所谓湿式罗茨真空泵，是指级间或两级泵吸入的空气通过综合吸收和相位差的组合消声器压缩和传输。压缩空气产生的热量可以通过向泵内注入少量水来消除。吸入管安装在单级或两级泵组的吸入端，并连接到真空泵的进气口。水被真空泵产生的真空吸入。真空度越大，吸水量越高。简单的调节阀可确保最佳吸入量。吸入水的温度应保持在20度左右。它应该是干净的，没有钙。